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變異源分析培訓(xùn)

培訓(xùn)目標(biāo)
學(xué)習(xí)變異源分析（SOV）的基礎(chǔ)理論和分析路徑
掌握變異源分析方法
提高實(shí)際生產(chǎn)和科研中變異源分析的能力
掌握如何在DMAIC的分析階段合理使用變異源分析的方法
使用Minitab 來進(jìn)行變異源分析，變得方便容易

課程大綱
變異源分析介紹
1.變異源研究的重要性
2.SOV 研究的目的
3.分解總的變異源
4.變異性研究的二個(gè)類型
5.SOV 與持續(xù)改進(jìn)的關(guān)系
6.SOV 研究的優(yōu)點(diǎn)與不足

Multi-vari 分析: SOV 的圖形化方法
1.Multi-vari Analysis (MVA) 介紹
2.SOV 的主要屬
3.變異屬的例子
4.分解方差的模型
5.一個(gè)Wafer加工廠的過程分析例子
6.Multi-vari 分析
7.MVA 分析的角色
8.MVA 怎樣實(shí)施
9.MVA 分析執(zhí)行指引
10.利用Minitab創(chuàng)建一個(gè)Multi-vari Chart
11.嵌套與交叉因子及應(yīng)用

過程 SOV 研究
1.方差分析 (A*VA)
2.利用Minitab進(jìn)行方差分析 (A*VA)
3.SOV 的量化：
4.計(jì)算方差組成
5.均方和（Mean Squares）
6.生成一個(gè)菜單(Recipe)的 SOV
7.實(shí)例分析

測(cè)量系統(tǒng)的 SOV 分析（計(jì)量型）
1.定義基本的測(cè)量術(shù)語
2.略述進(jìn)行計(jì)量型測(cè)量系統(tǒng)SOV研究的程序
3.進(jìn)行練習(xí)來實(shí)踐測(cè)量方法化
測(cè)量系統(tǒng)的SOV分析（計(jì)數(shù)型）
1.定義基本的測(cè)量術(shù)語
2.略述進(jìn)行計(jì)數(shù)型測(cè)量系統(tǒng)SOV研究的程序
3.進(jìn)行練習(xí)來實(shí)踐測(cè)量方法化
4.Kappa技術(shù)
5.改善屬性測(cè)量系統(tǒng)

A*VA
1.幾個(gè)概念
2.單因子方差分析
3.兩因子方差分析
相關(guān)性與回歸分析
1.定義并計(jì)算相關(guān)系數(shù)
2.討論相關(guān)性及因果關(guān)系
3.繪制并分析擬合直線圖
4.介紹回歸分析的基本知識(shí)
5.使用回歸分析技術(shù)建立數(shù)學(xué)預(yù)測(cè)模型

SOV 案例分析
1.SOV Standard Format Report
2.變異來源分析報(bào)告：HAI 大角度離子注入機(jī)
3.Source of variation report: sac3 Vtp bad uniformity
4.SOV Report :HVNATVT Trend & PW Implanter Performance

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